拓荆科技获得发明专利授权：“具有晶圆校准功能的负载室、半导体处理系统及对晶圆进行校准的方法”

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2025月09月20日

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示拓荆科技（688072）新获得一项发明专利授权，专利名为“具有晶圆校准功能的负载室、半导体处理系统及对晶圆进行校准的方法”，专利申请号为CN202210882507.9，授权日为2025年9月19日。

拓荆科技获得发明专利授权：“具有晶圆校准功能的负载室、半导体处理系统及对晶圆进行校准的方法”
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专利摘要：本申请涉及具有晶圆校准功能的负载室、半导体处理系统及对晶圆进行校准的方法。在本申请的一个实施例中，一种具有晶圆校准功能的负载室包括：腔室本体；晶圆支撑装置，其位于所述腔室本体内，并用于支撑晶圆；以及晶圆定位装置，其位于所述腔室本体内，并用于对由所述晶圆支撑装置所支撑的晶圆进行定位。

今年以来拓荆科技新获得专利授权46个，较去年同期增加了84%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了3.01亿元，同比减4.33%。

通过天眼查大数据分析，拓荆科技股份有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目98次；财产线索方面有商标信息110条，专利信息713条，著作权信息32条；此外企业还拥有行政许可32个。

数据来源：天眼查APP

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