至纯科技获得发明专利授权：“一种基于热能流场的晶圆清洗蚀刻装置”

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2025月06月28日

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示至纯科技（603690）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种基于热能流场的晶圆清洗蚀刻装置”，专利申请号为CN202111677809.4，授权日为2025年6月27日。

至纯科技获得发明专利授权：“一种基于热能流场的晶圆清洗蚀刻装置”
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专利摘要：本发明提供一种基于热能流场的晶圆清洗蚀刻装置，包括：放置台，通过旋转轴固定于底板上；晶圆，设置于放置台上；第一喷淋模组，通过第一喷嘴向晶圆的表面喷淋清洗溶液；一第二喷淋模组，通过第二喷嘴向晶圆的表面喷淋雾化溶液以于晶圆的表面形成热能流场；第三喷淋模组，通过第三喷嘴向晶圆的表面喷淋蚀刻溶液；控制模块，用于控制旋转轴进行旋转，控制转动件进行转动以带动第一喷嘴移动至晶圆的上方并控制第一喷嘴喷淋清洗溶液，控制第二喷嘴喷淋雾化溶液，以及控制第三喷嘴喷淋蚀刻溶液。有益效果是本装置通过第二喷嘴在晶圆表面形成热能流场，在热能流场的作用下晶圆表面的蚀刻溶液能够稳定在预设温度，解决了温度的稳定性问题。

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今年以来至纯科技新获得专利授权17个，较去年同期增加了6.25%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了2.67亿元，同比增19.17%。

通过天眼查大数据分析，上海至纯洁净系统科技股份有限公司共对外投资了45家企业，参与招投标项目76次；财产线索方面有商标信息102条，专利信息314条，著作权信息27条；此外企业还拥有行政许可42个。

数据来源：天眼查APP

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人保伴您前行,拥有“如意行”驾乘险，出行更顺畅！_纸制品行业发展现状及市场供需格局分析2024 2024年4月29日 来源：互联网 1182 76 以中国为例，纸制品行业是中国最重要的制造行业之一，拥有50多年的发展历史，市场规模巨大，并且仍在快速发展。随着我国餐饮行业经济逐步恢复，一次性纸质餐具或将成为国内纸制品行业未来主要增长点之一。图片来源于网络，如有侵权，请联系删除 纸制品是指以纸作为主要原材料，经过加工制作而成的各种纸制制品。纸制品的种类繁多，涵盖了多个应用领域，如包装、印刷、文化用品、生活用纸等。 在包装领域，纸制品包括包装盒、包装箱、包装袋等，它们能够保护和包装各种物品，便于储存和运输。在印刷领域，纸制品包括宣传单、海报、广告画等，是广告宣传和信息传递的重要载体。在文化用品领域，纸制品包括书籍杂志、名片、信纸、便笺等，是人们日常生活和工作中不可或缺的物品。此外，生活用纸如纸巾、餐巾纸、卫生纸等也是纸制品的重要组成部分。 以中国为例，纸制品行业是中国最重要的制造行业之一，拥有50多年的发展历史，市场规模巨大，并且仍在快速发展。根据市场调研数据，近年来中国纸制品行业的市场规模持续增长，年均增长率显著。随着中国经济的高速发展，纸制品市场的需求也在迅速增长。 随着我国餐饮行业经济逐步恢复，一次性纸质餐具或将成为国内纸制品行业未来主要增长点之一。2021年，我国累计生产纸制产品7739.06 万吨，同比增长9.84%;其中，瓦楞纸箱及生活用纸产量分别为3444.24万吨、1105万吨，同比变化率分别为4.7%、2.31%。 根据中研普华产业研究院发布的《》显示： 随着我国餐饮行业经济逐步恢复，一次性纸质餐具或将成为国内纸制品行业未来主要增长点之一。2021年，我国包装行业主营业务收入为12041.81亿元，同比增长16.39%;餐饮行业业务收入为7972.39亿元，同比增长32.05%。纸制品行业存在着众多的纸制品制造商和供应商，这导致了激烈的市场竞争。为了在市场中取得优势，企业不断提高产品质量，降低成本，同时也在努力创新以提供更具吸引力的产品。 行业面临一些挑战，纸浆原材料的供应不稳定性可能导致价格波动，影响企业的盈利能力。此外，随着环保意识的增强和可持续发展的要求，纸制品行业需要不断革新，研发更加环保和高效的纸制品。同时，随着数字化技术的快速发展，纸质文档的需求受到了一定的冲击，但这也促进了纸业市场的创新和多样化。 政策环境对纸制品行业的影响也不容忽视。国家发展和改革委员会、工业和信息化部等行政主管部门负责产业政策的制定和监督，同时也在积极推动行业的结构调整和技术进步。中国造纸协会等行业自律管理机构也在发挥着重要作用，通过调研、信息收集和发布等方式，为行业和企业提供咨询和服务。 随着全球经济的发展和人们对生活质量要求的提高，纸制品的需求将继续保持增长态势。尤其是在包装、印刷、文化用品等领域，纸制品的应用将更加广泛。此外，随着环保意识的日益增强，绿色、环保的纸制品将更受市场欢迎，这也为纸制品行业提供了新的发展机遇。 技术创新将成为推动纸制品行业发展的重要力量。例如，通过引入新技术和新材料，纸制品行业可以开发出更加环保、耐用、美观的产品，满足市场的多样化需求。同时，随着智能化、数字化技术的应用，纸制品行业可以实现更高效的生产和更低成本的运营，提升竞争力。市场竞争将更加激烈。为了抢占市场份额，纸制品企业需要不断提高产品质量和服务水平，加强品牌建设和营销推广。 同时，企业还需要关注消费者的需求和反馈，及时调整产品结构和市场策略，以适应市场的变化。综上所述，纸制品行业市场未来的发展趋势及前景是积极向好的。然而，也需要注意到市场竞争的激烈性和环保要求的提高，纸制品企业需要不断创新和进步，以适应市场的变化和发展。 中研普华通过对市场海量的数据进行采集、整理、加工、分析、传递，为客户提供一揽子信息解决方案和咨询服务，最大限度地帮助客户降低投资风险与经营成本，把握投资机遇，提高企业竞争力。想要了解更多最新的专业分析请点击中研普华产业研究院的《》。 相关文章推荐： 关注公众号 免费获取更多报告节选 免费咨询行业专家 相关深度报告REPORTS 11035 2823 3623 4423 5311 6123 推荐阅读 近年来，...

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