中微公司获得发明专利授权：“气相沉积系统、热膨胀测量方法以及测量工艺间隙的方法”

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2025月11月09日

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“气相沉积系统、热膨胀测量方法以及测量工艺间隙的方法”，专利申请号为CN202311444147.5，授权日为2025年11月7日。

中微公司获得发明专利授权：“气相沉积系统、热膨胀测量方法以及测量工艺间隙的方法”
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专利摘要：本发明公开了一种加热器的热膨胀量测量方法，包括步骤：第一温度下，通过高度调节组件逐渐缩小晶圆与加热器的间距，过程中保持抽气管道抽气并实时记录抽气管道出口处的气压值，当该气压值趋于稳定时，获取第一温度下第一气压值到达第一饱和点时对应的所述高度调节组件的第一位置；第二温度下，重复上述步骤，当抽气管道出口处的气压值趋于稳定时，获取第二温度下第二气压值到达第二饱和点时对应的所述高度调节组件的第二位置；计算所述第一位置和第二位置的差值，得到所述加热器在第一温度和第二温度之间的竖直方向热膨胀量；该方法操作简单、测量结果精确，无需改变反应腔的内部结构，也不会影响反应腔内的热场分布。

今年以来中微公司新获得专利授权139个，较去年同期增加了39%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了11.16亿元，同比增96.65%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了30家企业，参与招投标项目68次；财产线索方面有商标信息99条，专利信息1603条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可77个。

数据来源：天眼查APP

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